Термин "пречишћавање" има дугу историју на кинеском, што је првобитно значило "учинити чистим и чистим", и може се у широком смислу односити на све процесе и технологије за уклањање нечистоћа и елиминацију загађења. Одговарајући енглески термини укључују "пурифицатион" (наглашавање чистоће) и "цлеан" (наглашавање чистоће). Према томе, енглески израз за инжењеринг чисте собе укључује „Инжењеринг за прочишћавање“, „Чист инжењеринг“ или „Технологија чисте собе“, између осталог. Ово широко значење одређује да инжењеринг чистих соба има различите конотације у различитим дисциплинама.
Савремени инжењеринг чистих соба, са технологијом чистих соба у својој сржи, настао је 1950-их. Током Корејског рата, америчка војска је открила да су многи електронски инструменти често били неисправни због продора прашине, што је подстакло развој технологије за пречишћавање ваздуха, посебно истраживање и примену високо{2}}ефикасних филтера за честице ваздуха (ХЕПА). Године 1961. Виллис Вхитфиелд из Сандиа Натионал Лабораториес је предложио схему организације чистог протока ваздуха „ламинарног тока“ (сада званично названог „једносмерни ток“), омогућавајући чистим просторијама да постигну ниво чистоће без преседана. Исте године, америчко ваздухопловство објавило је први светски стандард за чисту собу, а 1963. објављен је амерички федерални стандард ФЕД-СТД-209, означавајући почетно формирање технолошког система чистих соба. Након тога, са брзим развојем индустрија као што су интегрисана кола и биомедицина, технологија инжењеринга чистих просторија је континуирано иновирала и еволуирала.
У Кини је „Кодекс дизајна чисте собе“ (ГБЈ 73-84) проглашен 1984. године, а „Кодекс за изградњу и прихватање чисте собе“ (ЈГЈ 71-90) је објављен 1990. године. Након неколико ревизија, формиран је национални стандардни систем са ГБ 50073-2013 код језгра дизајна собе. На међународном нивоу, серија стандарда ИСО 14644, коју је саставио ИСО/ТЦ209 технички комитет, су уобичајене смернице за чисте собе и сродна контролисана окружења. моја земља је усвојила ове стандарде и применила их као ГБ/Т 25915 серију.